EUV光刻机使用的光源是13.5nm的极紫外光,是利用高功率激光去轰击金属靶材,让金属靶材瞬间蒸发形成等离子体辐射出来EUV光,然后再对这种光源进行控制雕刻。
老m的Cymer(西盟)和德国创浦用了将近十年的时间,才把这个难题解决。
只是这个技术,就是一道天堑。
而且整个EUV光刻机里面,有着很多这种极致的技术要求,需要全世界最顶尖的专业领域的企业进行数年的研发,对于任何一个国家来说想要独立完成,都是一个几乎不可能的事情。
从一开始赵长安都没有痴人做梦的幻想着凭着国内的一己之力,研发出来这种浸入式EUV光刻机,在合适的时间里参与进去合作完成才是真正的选择。
而赵长安知道自己没啥技术,不顾好在他有钱。
“目前PAS5500有没有现机?”
赵长安这时候已经搞清楚了围绕着浸入式EUV光刻机样机研发的纷争,不过他不打算和萧扬明说太多,而是询问PAS5500,ASML手里面有没有现成的机器。
对于PAS5500,赵长安也毫不介意多买几套给国内的公司,即使现在的用处不大,然而相比于PAS5500漫长的工作期,也绝对不吃亏。
况且这些机子在拿到一些企业的技术许可以后,也可以进行一些芯片代工,正式组建一家一纳米的国内芯片制造厂。
萧扬明听到赵长安还是坚持想要购买PAS5500,根本就不问TWINSCAN AT:750T,心里面不禁充满了挫折感。
提着精神说道:“PAS5500的订单已经排到今年年底,不过TWINSCAN AT:750T因为是新机型,外界并不十分熟悉,如果想要今年夏天就可以拿到。”
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